废水或流体废物经过高压泵的提升，经过换热器，进入超临界核心反应釜，同时空气或氧气经过空压机进入核心反应釜作为氧化剂，经过反应之后的废水或流体物质经过换热器，经过冷却器和减压阀，最终气液分离，达到处理的效果，工艺装置图如下。
 

1.高压柱塞泵2.双氧水罐3.废水罐4. 排空阀5. 止回阀6.温度计7.压力表 8.热交换器 9.反应釜 10.温度控制仪 11.冷凝器 12.背压阀13.废液罐

（三）关键技术

1）空气氧化自燃技术：采用空气压缩机直接供空气作为SCWO的氧化剂，具有设备简单、成本低的优点。

2）多阀联排除垢技术：无机物质在超临界状态下溶解度很低，容易堵塞，结合高压冲击除垢原理与多阀联排技术，采用PLC压力、温度协同控制，并用多阀程序开启不断排出无机物质和有机残渣，成功解决了设备易堵塞的问题，并实现断续流自动运行。

3）PLC加热控制技术：装备中设置有电磁频谱加热器、压力传感器、温度传感器等部件，通过PLC控制实现压力温度的在线监控与协同控制，具有热效率高、点火快、操作运行方便、不易堵塞、易扩大生产规模等优点。

4）燃烧清洁剂技术：有机型燃烧促进剂具有提升自燃效率、清除积炭、清洁管路、消除污垢等功效。直接攻击有机分子中的长链碳键，在反应室产生“微爆”，促进雾化，引发有机物完全燃烧，提高热效率、降低能耗、减少有机物排放。

（四）技术来源及知识产权概况

技术来源：自主研发

知识产权概况：

1）处理高固含量流体的高温高压流水热装置（ZL201120298303.8）；

2）一种多用途超（亚）临界水热处理设备（20121011816.4）；

3）一种超临界水反应釜的测控方法（201210177045.7）；

4）直管间壁式换热器（201010533885.3）。